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旋涂技术

旋涂技术是MEMS工艺中很重要的一部分,旋涂技术的好坏直接影响到光刻的效果。公司提供专业的旋涂技术,样品涵盖1cm²到12寸晶圆,旋涂均匀性好,粘附性高。